莱宝 TURBOVAC MAG 2207 iS 磁悬浮分子泵经 HT3S-DPM-EIS 网关接入 OMRON PLC，通过HT3S-DPM-EIS网关，欧姆龙PLC实现了对莱宝MAG2207iS磁悬浮分子泵的精准闭环控制。设备在运行期间，真空系统通讯稳定，数据刷新无延迟，各项工艺指标均达到国际主流水平，为拓荆科技先进制程设备的规模化量产提供了坚实的底层通讯保障。
更多应用场景
•       半导体设备真空系统：磁悬浮分子泵、前级干泵、真空计、阀门控制器等 PROFIBUS 设备接入 EtherNet/IP 主控。
•       欧系设备 + 日系 PLC 组合：变频器、伺服、仪表、综保、软启动器等 PROFIBUS 从站接入 OMRON、基恩士、罗克韦尔 PLC。
•       既有产线联网改造：在不更换现场设备的前提下，把 PROFIBUS 设备数据统一汇入以太网控制层与上层信息系统。

在半导体芯片制造、光伏电池生产及精密镀膜等高端工艺领域，工艺气体的精确流量控制直接决定产品良率和工艺稳定性。费尔顿（FELTON）作为国内领先的气体质量流量控制器（MFC）品牌，其 TCP/GCE 系列 MFC 采用热式计量原理，具备 ±1.0% 设定值精度（≥30% 满量程）和 <1 秒响应时间，广泛应用于 CVD、PVD、刻蚀、扩散等关键制程 。
然而，费尔顿 MFC 支持 EtherCAT 数字通信协议，而半导体生产线的主流控制系统多采用 罗克韦尔（Rockwell）AB PLC（如 ControlLogix 或 CompactLogix 系列），基于 EtherNet/IP 工业以太网架构。协议差异导致 MFC 无法直接接入 AB PLC 控制网络，制约了工艺设备的数字化集成。那么就需要北京中科易联通过HT5S-ECM-EIS工业网关来打通这座桥梁。

本文主要介绍使用HI-TOP的EtherCAT主站网关HT1S-ECM-PNS采集多个BROOKS的EtherCAT流量计到西门子1200PLC进行数据交换。

解决的问题：多个BROOKS流量计如何接入到1200PLC中？

解决方法：使用1台HI-TOP的EtherCAT主站网关 HT1S-ECM-PNS，2台流量计支持EtherCAT协议，1200 PLC支持Profinet协议， HI-TOP的EtherCAT主站网关 HT1S-ECM-PNS可以采集多个BROOKS的EtherCAT流量计接入西门子PLC的Profinet网络进行数据传输。

通过采用EtherCAT网关HT3S-ECS-MDN实现半导体用RS485射频电源与倍福EtherCAT系列PLC的通讯，该半导体制造企业解决了通讯瓶颈问题，提高了生产线的自动化程度和数据处理能力。该解决方案具有高效、稳定、易于实施等优点，为半导体制造行业的自动化升级提供了有力的支持。

HT3S-DNS-MDN网关在半导体生产线上具有广泛的应用场景，特别是在那些需要实现不同通讯协议之间数据转换和集成的环境中的应用，可以帮助企业实现设备的无缝集成、数据的实时传输和远程监控等功能，提高生产效率和产品质量。