在半导体芯片制造、光伏电池生产及精密镀膜等高端工艺领域，工艺气体的精确流量控制直接决定产品良率和工艺稳定性。费尔顿（FELTON）作为国内领先的气体质量流量控制器（MFC）品牌，其 TCP/GCE 系列 MFC 采用热式计量原理，具备 ±1.0% 设定值精度（≥30% 满量程）和 <1 秒响应时间，广泛应用于 CVD、PVD、刻蚀、扩散等关键制程 。
然而，费尔顿 MFC 支持 EtherCAT 数字通信协议，而半导体生产线的主流控制系统多采用 罗克韦尔（Rockwell）AB PLC（如 ControlLogix 或 CompactLogix 系列），基于 EtherNet/IP 工业以太网架构。协议差异导致 MFC 无法直接接入 AB PLC 控制网络，制约了工艺设备的数字化集成。那么就需要北京中科易联通过HT5S-ECM-EIS工业网关来打通这座桥梁。

本文主要介绍使用HI-TOP的EtherCAT主站网关HT1S-ECM-PNS采集多个BROOKS的EtherCAT流量计到西门子1200PLC进行数据交换。

解决的问题：多个BROOKS流量计如何接入到1200PLC中？

解决方法：使用1台HI-TOP的EtherCAT主站网关 HT1S-ECM-PNS，2台流量计支持EtherCAT协议，1200 PLC支持Profinet协议， HI-TOP的EtherCAT主站网关 HT1S-ECM-PNS可以采集多个BROOKS的EtherCAT流量计接入西门子PLC的Profinet网络进行数据传输。

通过采用EtherCAT网关HT3S-ECS-MDN实现半导体用RS485射频电源与倍福EtherCAT系列PLC的通讯，该半导体制造企业解决了通讯瓶颈问题，提高了生产线的自动化程度和数据处理能力。该解决方案具有高效、稳定、易于实施等优点，为半导体制造行业的自动化升级提供了有力的支持。

HT3S-DCS-MDN网关在半导体生产线上具有广泛的应用场景，特别是在那些需要实现不同通讯协议之间数据转换和集成的环境中的应用，可以帮助企业实现设备的无缝集成、数据的实时传输和远程监控等功能，提高生产效率和产品质量。

某实验室中采购了一台半导体加热电源设备，此设备为MODBUS TCP从站设备需要与ETHERNET/IP主站进行数据交换，由于数据协议不同，接口不同就需要我们网关来进行转换，网关做ETHERNET/IP从站、MODBUS主站进行连接，网关MODBUS TCP侧连接加热电源，ETHERNET/IP端接AB的PLC。通过简单配置，实现数据采集与通讯。